高真空电子束蒸发镀膜设备

设备名称：高真空电子束蒸发镀膜设备

设备厂家、型号：沈阳科诚 KC-DZS

负责教师：赵丹   联系方式：化材楼C336 ，地点：020-31137963 

功能指标：

在高真空下，将电子动能转化为热能使蒸发材料加热气化，从而实现蒸发镀膜。通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率，适用于蒸发高熔点以及高纯金属和化合物材料。

技术指标：

1、极限真空度: ≤6×10-5Pa(新设备空载)；

2、漏率为关机12小时≤10Pa（新设备空载，极限真空后关机）；

3、恢复工作真空时间：≤40min(新设备空载6×10-4Pa)

样品注意事项：

膜料加满坩埚，以利于提高蒸发速率，膜料不可高出坩埚的上平面，以免有碍转动

使用注意事项：

开机前需确认冷却水箱已开启，小型空气压缩机已开启，打开电子束电源前确认电器柜柜门已关闭，防止高压触电！

1、保持腔体内清洁，不洁净的腔体会影响真空

2、每次使用完设备后，需抽低真空。腔体内部避免长时间暴露大气，否则下次使用时抽真空会非常缓慢

仪器地点：

化学材料综合楼C203

备注：